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osakavacuum大阪真空濺射沉積用干式真空泵FR060D

更新時(shí)間:2025-12-27      瀏覽次數(shù):111

osakavacuum大阪真空濺射沉積用干式真空泵FR060D

osakavacuum大阪真空濺射沉積用干式真空泵FR060D

osakavacuum大阪真空濺射沉積用干式真空泵FR060D


FR060D

FR060D

啟用大氣壓作。
大氣壓量為800升/分鐘。
-啟用水蒸氣傳遞。
蒸汽耐受度為500克/小時(shí)。
-縮短蒸發(fā)時(shí)間。
容量流量800升/分鐘,壓力范圍寬,達(dá)到極限壓力。
——風(fēng)冷。


應(yīng)用

- 小型實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)
- 載鎖和轉(zhuǎn)選室
- 分析裝置
- 真空夾頭
- 加速排氣
- 封裝、密封
- 離子源、EB槍
- 干燥
- 濺射沉積
- 小型爐子
- TMP備份真空泵

模型FR060D
體積流量(L/min)*大值1000
常數(shù)800
基壓(Pa)無氣體壓載1.0
配氣壓載2.0
連接入???/td>KF(NW)40
出口KF(NW)40
*大蒸氣耐受度※1(g/hr)500
潤(rùn)滑油量(毫升)90
功耗(千瓦)基壓下1.1
*大值1.3
電源電壓(V)200-240
頻率(Hz)50/60
階段單曲 / 三
可容忍電壓波動(dòng)※2±10%
功率容量(kVA)3.0
電流(A)單相11.1
三相6.5
冷卻系統(tǒng)風(fēng)冷
體重(公斤)75
環(huán)境溫度(°C)5-40

 

*1 它是氣體壓載物“開啟"時(shí)*大處理量的單位。
*2 如需特殊規(guī)格,請(qǐng)聯(lián)系大阪吸塵器。


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